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帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀在半導體行業(yè)的應用

更新時(shí)間:2022-12-15      點(diǎn)擊次數:433

硅烷巨成為半導體微電子工藝中使用的最主要的特種氣體,用干各種微電子酒膜制備,包括單品膜,微品,多品、氧化鞋、氛化硅,金屬硅化物等,硅烷的微電子應用還在向縱深發(fā)展:低溫外延,選擇外延,異質(zhì)外延,不僅用干硅器件和硅集成電路,也用干化合物半導體器件(砷化鎵,碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制備中也有應用??梢哉f(shuō)現代幾乎所有先進(jìn)的集成電路的生產(chǎn)線(xiàn)都需用到硅烷。硅烷的純度對器件性能和成品率關(guān)系極大,更高級的器件需要更高純度的硅烷(包括乙硅烷丙硅烷)。所以在半導體行業(yè),硅烷的應用是非常廣泛的。

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但是硅烷會(huì )刺激眼睛。硅烷分解產(chǎn)生無(wú)定型二氧化硅。眼睛接觸無(wú)定型二氧化硅顆粒會(huì )引起刺激。吸入高濃度的硅烷會(huì )引起頭痛、頭暈并刺激上呼吸道,硅烷會(huì )刺激呼吸系統及粘膜。過(guò)度吸入硅烷會(huì )引起肺炎和腎病,這是由于存在結晶二氧化硅的原因。暴露于高濃度氣體中還會(huì )由于自燃而造成熱灼傷,如果硅烷濃度過(guò)高,對現場(chǎng)的工作人員有一定的危害性,不利于健康。



深國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀應用于半導體現場(chǎng)硅烷檢測,24小時(shí)連續在線(xiàn)監測硅烷及溫濕度的測量,可同時(shí)擴展檢測1~6種氣體濃度和溫濕度,現場(chǎng)顯示濃度和超標聲光報警,遠程數據傳輸。采用2.5寸高清彩屏實(shí)時(shí)顯示濃度,選用電化學(xué)氣體傳感器、,國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀先進(jìn)的電路設計、成熟的內核算法處理,取得了多項軟件著(zhù)作磚利和外觀(guān)磚利,國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀可以檢測管道中或受限空間、大氣環(huán)境中的氣體濃度也可以檢測氣體泄漏,還可以檢測高濃度單一氣體的純度。堅固耐用的防爆外殼和氟碳漆表面處理工藝適用于各種危險場(chǎng)所和強酸強堿的腐蝕性環(huán)境,耐磨損,10年內不褪色和掉漆。


深國安帶SLI2安全認證的在線(xiàn)硅烷氣體檢測儀特點(diǎn)

●任何氣體尺寸統一、信號統一、用法統一;
●擴散式、泵吸式兩種采樣方式可選;
●可選配專(zhuān)屬標氣罩,由擴散式氣室變成泵吸式氣室;
●一體泵吸式氣室可選,方便泵吸式采樣;
● 只需對接一次,即可對應1000多種可燃、有毒和揮發(fā)性氣體,一勞永逸;



 

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